Excimer(准分子)是"ExcitedDimer"(受激二聚物)的缩写,它是指受到电子激发的惰性气体或卤素气体,或者这两种气体的混合物(二聚物)所形成的瞬态分子,由激发态至基态的跃迁过程中辐射出得分紫外线。 准分子光源技术通过采用不同单色波长(124nm、172nm、222nm或308nm等)的高强度紫外光,能引发传统紫外光源很难或根本不能实现的光化学反应,在国际上被誉为紫外光发生技术领域的一个里程碑。准分子光处理器克服现有技术的瓶颈,以其高能密度、低反应温度、大反应面积、反应时间短的卓越特性,在微电子、医学、材料科学和环境保护等领域获得广泛和独特的应用。 |
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